Penelitian ini menganalisis efisiensi teknis bidang pendidikan di Kabupaten Semarang dengan menggunakan metode Data Envelopment Analysis (DEA) dan asumsi Variabel Return to Scale (VRS). Penelitian ini menggunakan variabel input, yaitu rasio siswa per guru, rasio siswa per pegawai administrasi, rasio pendidikan guru, dan rasio pengalaman guru, untuk variabel outputnya, yaitu rata- rata nilai ujian nasional dan presentase kelulusan. Penelitian memberikan hasil bahwa ada beberapa Sekolah Menengah Atas Negeri (SMAN) di Kabupaten Semarang yang bisa mencapai tingkat efisiensi, yaitu SMAN 1 Tengaran, dan SMAN 1 Susukan. Beberapa SMAN di Kabupaten Semarang juga belum bisa mencapai tingkat efisiensi, yaitu SMAN 1 Getasan, SMAN 1 Ambarawa, SMAN 1 Bringin, SMAN 1 Bergas, SMAN 1 Suruh, SMAN 1 Pabelan, SMAN 1 Tuntang SMAN 2 Ungaran, dan SMAN 1 Ungaran. Penyebab utama tingkat inefisiensi rasio siswa per guru, rasio siswa per pegawai administrasi, rasio pendidikan guru dan rasio pengalaman guru, dikarenakan kurang meratanya penyebaran guru ke berbagai daerah, khususnya SMAN yang belum bisa mencapai tingkat efisiensi. This research due to analysis the technical efficiency of education in Semarang Regency  using Data Envelopment Analysis (DEA) method and assumption of Variable Return to Scale (VRS). Variables that used in this research are the ratio of students per teachers, the ratio of students per administrative employee, teacher education ratio, and teachers experience ratio, the output variables are the average national exam score, and the percentage of graduation. Result of this research, State Senior High School (SMAN) in Semarang Regency can reach efficiency at level are SMAN 1 Tengaran, and  SMAN 1 Susukan. Some SMAN in Semarang regency also can’t achieve efficient at level are SMAN 1 Getasan, SMAN 1 Ambarawa, SMAN 1 Bringin, SMAN 1 Bergas SMAN 1 Suruh, SMAN 1 Pabelan and SMAN 1 Tuntang, SMAN 2 Ungaran, and SMAN 1 Ungaran. The reason  inefficiency level of students ratio per teachers, students ratio per administration employee, teachers education ratio and teachers experience ratio, due to uneven distribution of teachers to various regions, especially SMAN can’t reach efficiency at level..